The alarm evaluator: evaluates the alarm condition set by formula, t= he persistence setting, and the pressure excursion filter

Verifica e Controllo un attrezzo di deposito del metallo con analisi residua del gas

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Introduzione<= /span>

È= ; comune trovare un analizzatore del gas del residuo (installato sull'alloggiamento = di scambio degli attrezzi della serie di ingranaggi di deposito del metallo.&n= bsp; Da questa posizione, c'è ne dei reattori fissati possono essere controllati il più spesso, perdita dell'elio esaminata. <= /span>

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L'autom= azione del questo controllo, tali che le prove sono effettuate sempre una valvola si a= pre fra l'alloggiamento di scambio ed il reattore trattato, può essere un attrezzo molto importante. La prova della perdita è effettuata controllando per i gas atmosferici (azoto ed ossigeno). L'altro contr= ollo di chimica inoltre ha trovato il valore.

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Con un = singolo strumento analitico sulla capsula di trasferimento, possiamo controllare l'intero sistema. Per effettuare questa funzione, il sistema deve ave= re il dichiarare (aperto o chiuso) di tutte le valvole ai diversi reattori trattati inclusi nella procedura.

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L'allog= giamento di scambio su un attrezzo di deposito del metallo è un esempio di verificare l'applicazione che richiede un ospite intelligente. Se controlliamo la capsula di trasferimento, vedremo chiaramente le fonti evid= enti del cambiamento di chimica. Tuttavia, a meno che il sistema comprenda quale reattore ha fornito il cambiamento di chimica, i dati non possono ess= ere assegnati.

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Lo stru= mento analitico sta bene al solver di problema. Ogni sequenza dove una valv= ola trattata dell'alloggiamento si apre si trasforma in in un'occasione per controllo e nell'attrezzo mai non è rimossa dal funzionamento. =

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Benef= ici

1. T= empo reale: la maggior parte dei schemi difficili controllano regolarm= ente l'integrità degli attrezzi trattati, ma ci può essere pericolo significativo negli intervalli fra le qualificazioni. La aggiunta del= lo strato della qualificazione che controlla continuamente il sistema è= un aumento significativo al funzionamento.

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2. Riduca il tempo speso sulle qualificazioni: la credibil= ità del video in tempo reale è stabilita una volta, qualificazioni convenzionali diventa meno critica. La frequenza può essere ridotta, con un miglioramento generale nella qualità della metrologi= a.

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3. A= nalisi guasti: i problemi ambigui su un attrezzo di deposito del metallo possono essere difficili da dividere. Sul posto controlli può aiutare, particolarmente con le edizioni intermittenti.

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I benef= ici dal video dell'attrezzo di deposito del metallo includono il fatto che il contr= ollo è realizzato in tempo reale, che il tempo morto per la qualificazione può infine essere ridotto e che effettuare un analisi guasti diventa sensibilmente più di efficace.

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Esempi

Perd= ite del reattore pu&ograv= e; essere identificato immediatamente. Alcune posizioni della perdita possono essere difficili da identificare nelle prove standard della parte posteriore della perdita, il genere di prove che sono standard nell'industr= ia del semiconduttore.

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Per ese= mpio, una perdita nel collettore del gas nella zona con i regolatori di flusso del gas è una zona esaminata non completamente mediante tecniche standard, ma trovato facilmente con un in situ controlli.

Ogni punto di riferimenti = nel grafico rappresenta una singola cialda. Noti il modello. Quando= il reattore di deposito del metallo è stato al minimo, la prima escursione della cialda è più grande. Il periodo più lungo che è stato al minimo, più grande l'escursione. Ciò è un risultato dell'accumulazione dei gas contribuiti tramite la perdita. Una volta che il reattore è in funzione, la perdita è eliminata l'inceppo e non si accumula.

Nota: questo sistema= ha esaminato normalmente con la perdita indietro esamina.

I reattori trattati su un sistema possono anche essere una fonte di contaminazione.

Ciò è particolarmente allineare quando il reattore è un reattore di deposi= to di vapore chimico.

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Le chim= iche usate per il deposito di vapore chimico sono spesso persistenti (evacuato non facilmente). Quando la valvola si apre per scaricare il prodotto, l'alloggiamento di scambio è contaminato. L'attrezzo nell'esem= pio utilizza soltanto i reattori tre e quattro per una parte dell'elaborazione. Quando questi reattori sono utilizzati, i livelli = di contaminazione dell'idrocarburo sono aumentati.

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Il p= rodotto è una fonte significativa di contaminazione.

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Nel mig= liore dei casi, le cialde contaminate, per esempio, cialde con photoresist residuo, saranno scoperte prima di raggiungere l'attrezzo di deposito del metallo e = se raggiungono l'attrezzo, saranno rilevate nello reattore di degas di lampada, con uno strumento analitico sull'alloggiamento di degassamento, o con uno strumento analitico sull'alloggiamento dell'amplifi= catore.

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Tuttavi= a, se le cialde sono contaminate, un'ultima linea di difesa può essere il vid= eo analitico dello strumento.

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Con un = singolo strumento analitico, un sistema può essere controllato per le perdit= e di vuoto, la contaminazione dagli alloggiamenti trattati, il recupero di manutenzione verificato ed il controllo finale per contaminazione dalle cia= lde del prodotto.

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I mo= duli di fissaggi per l'acquisizione dell'attrezzo dichiarano

Per sin= cronizzare lo strumento analitico al funzionamento dell'attrezzo, lo posizione di valvola deve essere ottenuto. Per questa funzione, un suite dei moduli di fissaggi è disponibile per le funzioni quale la misura di degassa l'intensità della lampada o l'ordine dichiara delle valvole dell'alloggiamento di scambio. Il software seamlessly include queste informazioni nell'analisi analitica dello strumento per innescare di automa= zione.

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Un ospi= te analitico dello strumento di rendimento elevato acquistabile e può aiutare l'utilizzatore finale con i problemi visti in un ambiente di manufacturing.

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