The alarm evaluator: evaluates the alarm condition set by formula, t= he persistence setting, and the pressure excursion filter

Überwachung eines Metall absetzung-Werkzeugs mit Restgas-Analyse

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Einleitung

Es ist = allgemein, einen Rückstandgasanalysator zu finden (angebracht auf den Austauschra= um der Metallabsetzung-Blockwerkzeuge. Von dieser Position können irgendwelche der angebrachten Reaktoren häufig kontrolliert werden, die geprüfte worden Heliumleckstelle.

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Das Automatisieren dieser Kontrolle, so, daß Tests jedesmal ein Ventil durchgeführt werden, öffnet sich zwischen dem Austauschraum und d= em Prozeßreaktor, kann ein sehr wertvolles Werkzeug sein. Die Leckstelle Prüfung wird durchgeführt, indem man atmosphärisc= he Gase überwacht (Stickstoff und Sauerstoff). Andere Chemieüberwachung hat auch Wert gefunden.

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Mit ein= em einzelnen analytischen Instrument auf dem übergangsraum, können w= ir das gesamte System überwachen. Um diese Funktion durchzufüh= ren, muß das System den Zustand (geöffnet oder geschlossen) aller Ven= tile zu den einzelnen Prozeßreaktoren haben, die im Algorithmus eingeschlo= ssen sind.

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Der Aus= tauschraum auf einem Metallabsetzungwerkzeug ist- ein Beispiel der Prüfung der Anwendung, die einen intelligenten Wirt erfordert. Wenn wir den übergangsraum überwachen, sehen wir offenbar offensichtliche Quel= len der Chemie änderung. Jedoch es sei denn das System begreift, wel= cher Reaktor die Chemieänderung geliefert hat, können die Daten nicht zugewiesen werden.

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Das ana= lytische Instrument steht dem Problemlöser. Jede Reihenfolge, wohin ein Prozeßraumventil sich öffnet, wird eine Gelegenheit für Kontrolle und das Werkzeug wird entfernt nie vom Betrieb. <= /span>

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Nutze= n

1. R= ealzeit: die meisten prüfenentwürfe überprüfen die Vollständigkeit der Prozeßwerkzeuge regelmäßig, aber = es kann bedeutende Gefahr in den Abständen zwischen den Qualifikationen geben. Eine Schicht der Qualifikation hinzuzufügen , die ununterbrochen das System überwacht, ist eine bedeutende Verbesserung = zum Betrieb.

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2. Verringern Sie die Zeit, die auf Qualifikationen verbracht wird: einmal wird die Glaubwürdigkeit des Realzeitmonitors hergestellt, herkömmliche Qualifikationen werden weniger kritisch.&nbs= p; Die Frequenz kann, mit einer gesamten Verbesserung in der Qualität der Metrologie verringert werden.

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3. F= ehlersuche: vieldeutige Probleme auf einem Metall absetzungwerkzeug können schwier= ig sein zu verteilen. Überwachen Sie an der richtigen Stelle kann, besonders bei den zeitweiligen Ausgaben helfen.

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Nutzen = vom Metallabsetzung-Werkzeugmonitor schließt die Tatsache ein, daß = die Kontrolle in der Realzeit durchgeführt wird, daß Stillstandszeit für Qualifikation schließlich verringert werden kann und da&szli= g; die Fehlersuche deutlich mehr wirkungsvolles wird.

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Beispiele

Reak= tor-Leckstellen

kann so= fort gekennzeichnet werden. Etwas Leckstelle Positionen können schwie= rig sein, in den Standardleckstelle Rückseite Tests, die Art zu kennzeichn= en der Tests, die in der Halbleiterindustrie Standard sind. <= /span>

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Z.B. ist eine Leckstelle im Gasverteilerrohr im Bereich mit den Gasflußsteuerpulten ein Bereich n= icht gänzlich geprüft durch Standardtechniken, aber leicht gefunden mit einem in-situ überwachen Sie.

Jeder Datenpunkt im Diagra= mm stellt eine einzelne Oblate dar. Merken Sie das Muster. Wenn Metallabsetzungreaktor untätig gewesen- ist, ist die erste Oblateexkur= sion grösser. Die längere Periode, daß es untätig gew= esen ist, das größer die Exkursion. Dieses ist ein Resultat der Ansammlung der Gase, die durch die Leckstelle beigetragen werden. Sob= ald der Reaktor in Kraft ist, wird die Leckstelle bereinigt und ansammelt nicht.

Anmerkung: dieses Sy= stem prüfte normalerweise mit der Leckstelle zurück prüfen.<= /o:p>

Prozeßreaktoren auf einem System können eine Quelle der Verschmutzung auch sein.

Dieses ist besonders zutreffend, wenn der Reaktor ein chemischer Dampf-Absetzung reaktor ist.

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Die Che= mie, die für chemischer Dampf-Absetzung verwendet wird, ist häufig hartnäckig (nicht leicht evakuiert). Wenn das Ventil sich öffnet, um das Produkt zu leeren, wird der Austauschraum verschmutzt. Das Werkzeug im Beispiel verwendet nur Reaktoren drei und vier für einen Teil der Verarbeitung. Wenn diese Reaktoren benut= zt werden, werden die Niveaus der Kohlenwasserstoffverschmutzung erhöht. =

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Das = Produkt ist eine bedeutende Quelle der Verschmutzung. <= /p>
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Ideal w= erden verschmutzte Oblaten z.B. Oblaten mit Restphotoresist, entdeckt, bevor man das Metallabsetzungwerkzeug erreicht und wenn sie das Werkzeug erreichen, ermit= telt im Lampe degas Reaktor, entweder mit einem analytischen Instrument auf dem entgasenraum oder mit einem analytischen Instrument auf dem Pufferraum.&nbs= p;

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Jedoch = wenn die Oblaten verschmutzt werden, kann eine letzte Verteidigungslinie der analyti= sche Instrumentmonitor sein.

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Mit ein= em einzelnen analytischen Instrument kann ein System auf Vakuumleckstellen, Verschmutzung von den Prozeßräumen, die überprüfte wor= den Wartung Wiederaufnahme und Abschlußkontrolle für Verschmutzung v= on den Produkt oblaten überprüft werden.

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Tech= nische Bausteine für das Erwerben des Werkzeug-Zustandes

Um das analytische Instrument zum Betrieb des Werkzeugs zu synchronisieren, mu&szl= ig; Ventilposition erreicht werden. Für diese Funktion ist eine Suite der technisch= er Bausteine für Funktionen wie das Maß von entgasen Lampe Intensität oder den Befehl Zustand der Austauschraumventile vorhanden. Die Software schließt seamlessly diese Informationen= in die analytische Instrument analyse für das Automatisierung Auslös= en ein.

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Ein erschwingliche, hohe Leistung analytischer Instrumentwirt kann dem Endbenut= zer mit den Problemen helfen, die in ein Herstellung Klima gesehen werden.

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